xrf熒光光譜儀主要用于測試光致發光的樣品的各種發光性質?；窘M成是光源、激發單色器、樣品倉、發射單色器和檢測器。
通常xrf熒光光譜儀上使用的光源可歸類為穩態和瞬態光源。穩態光源一般是光譜及能量連續輸出的氙燈。瞬態光源為頻率可調、具有特定脈寬的脈沖輸出光源，通常為皮秒脈沖激光器、皮秒脈沖發光二極管、微秒脈寬閃爍氙燈等。
xrf熒光光譜儀分類：
熒光光譜儀是測定材料發光性能的基本設備。通用熒光光譜儀大致可分為3種：
(1) 基本型：在200-800 nm的紫外可見波段的穩態光譜儀。
(2) 擴展型：覆蓋200-1700 nm波段的紫外可見-近紅外穩態光譜儀。
(3) 綜合型：覆蓋上述兩個波段，同時可測瞬態光譜的光譜儀。
xrf熒光光譜儀主要部件：
光源：提供不同波長的激發光
單色器：激發單色器將光源發出的復色光變成單色光，發射單色器將發出的熒光與雜散光分離，防止雜散光對熒光測定產生干擾。
狹縫：控制光通量
檢測器：光電倍增管
樣品池：四面透明正方形石英池，長1cm，寬1cm
xrf熒光光譜儀主要用途：
?。?）熒光激發光譜和熒光發射光譜
?。?）同步熒光（波長和能量）掃描光譜
?。?）3D（Ex Em Intensity)
?。?）Time Base和CWA(固定波長單點測量）
?。?）熒光壽命測量，包括壽命分辨及時間分辨
?。?）計算機采集光譜數據和處理數據（Datamax和Gram32)
